������״��������һ�ֲ����Լ��������μ����Ĺؼ��Ǹ��벡����ˮ�徻������ֹ�����Ĵ����Ϳ��Ʋ����ķ�����

������ϣ���ͨ��������΢�������۲쵽�����д�����СΪ��50��80��nm×(120��150)nm����״��������������Ҫ֢״�ǣ����ڣ���ˮ����ǣ��������࣬�������㼡���������������ϣ��㼡���ڳص׻�������ס����ڣ��ж��ٻ���ʳ���½�������������ڱ�Ӳ�������ĸκͳ��״����ڳصס��ò����о������Եļ����ԣ���Ҫ�����ڶ��������ڣ�������10��11��������4��5�£�ˮ�µ���24�������У���Ⱦ�����Ϊ��ɫ���ı��硢�ɱ����ɱ����±��������̱�Ҳ�д�Ⱦ����Ⱦ;��Ϊˮƽ��������Ҫͨ����Ⱦ��ˮԴ����Ա�����乤�ߡ����ϵȽ��д����������ص�ΪDZ���ڶ̣������������̶̣�4��30���������ʸߴ� 95�����ϡ�

�������Σ�����"�ۺϷ���"��ʩ��

a.��ǿ���ױ��뱫��Ĺ���������Ӧѡ�ý���ǿ׳�ױ�������߱��翹��������

b.ͨ��ɰ��ˮ��ֳ����ˮ���ܽ���������4����/�����ϣ������߷���Ӧ�����ٽ�ˮ��ˮ������ˮ�崫Ⱦ����������Ͷ��΢��̬�Ƽ�����ˮ�ʡ�

C.��ѧͶι�����ϱ������ʣ�������Ͷιά���ص�ҩ����ǿ�������ʣ��ᳫ��ι��ι������ʱ����ж�����ֹ������Ⱦ��

d.���н�������ģʽ�����������������ܶȲ���ƫ�ߣ�һ���ܶ�Ӧ������ÿ��װ��35��40�����¡�

e.Ӧ��ǿ�Խ�����ֳ���ı�����ױ��ļ��ߣ��ڷ���������Ӧ��ʱ��ȡ���뼰Ԥ����ʩ����ֹ������ɢ��ӦѸ�ٷ���������ȫ������������ԭ���Բ����ı������޺�������

���÷�Χ��ȫ���غ���ɫ���������̱�����ֳ������

ע�����Ŀǰ�о����ֵ���״������4�����ͣ���ԭ���ٴ��������������������ֳ���ı�����������������ʱ����ʩ��������Ӧע��ֱ�Դ���